微型惯性测量装置的技术分析与发展建议

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1 引言 在惯性测量系统中,惯性敏感器件--陀螺仪和加速度计是其重要的组成部分,同时也是制约仪表小型化和微型化的瓶颈.长期以来人们一直在探寻使其小型化的途径和方法,基于微机电技术研究设计微型惯性测量系统一直是值得关注的领域.
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