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高开孔率、大厚度金属精细网板的制造是网板业界的技术难题。分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点，并提出采用基于SU-8光刻胶的UV—LIGA技术来制备高开孔率大厚度精细金属网板的工艺思路。优选了关键工艺环节的操作参数，表征了试样的形貌特点，检测并分析了试样的相关性能。结果显示，采用优化的工艺条件（前烘65℃／20min，95℃／20min；适量曝光剂量；后烘65℃／10min，95℃／15min；匀胶后静置、随炉冷却；超声辅助显影等）所制备的六边形镍网（边200μm），不仅开孔率高（88％），厚度大（（