【摘 要】
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采用金刚石线锯对直径65 mm的单晶砷化镓棒材进行切割实验,锯丝线速度分别为0.8,2.5 m·s^-1,进给速度分别为0.6,1.5,2.5 mm·min^-1.应用原子力显微镜(atomic force
【机 构】
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扬州大学机械工程学院,南京航空航天大学机电学院
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采用金刚石线锯对直径65 mm的单晶砷化镓棒材进行切割实验,锯丝线速度分别为0.8,2.5 m·s^-1,进给速度分别为0.6,1.5,2.5 mm·min^-1.应用原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)测量切割后砷化镓切片的表面粗糙度,根据脆塑转变中的滑移理论分析了金刚石线锯切割砷化镓晶体的加工过程.结果表明:当进给速度为0.6 mm.min-1,线速度为2.5 m·s^-1时,切割表面平整,无崩碎现象,表面粗糙度值达55.21 nm.提高
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