【摘 要】
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采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备不同膜厚的Al、Ga共掺杂透明导电 ZnO 薄膜.其他参数一定的情况下,通过控制旋涂次数得到不同厚度的薄膜,研究了薄膜厚度对 GAZO 薄膜的
【机 构】
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三峡大学 材料与化工学院 无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室,湖北 宜昌,443002广西新未来信息产业股份有限公司,广西 北海,536000;
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采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备不同膜厚的Al、Ga共掺杂透明导电 ZnO 薄膜.其他参数一定的情况下,通过控制旋涂次数得到不同厚度的薄膜,研究了薄膜厚度对 GAZO 薄膜的物相结构、表面形貌以及光电性能的影响.实验结果表明:所制备的 GAZO 薄膜均为六方纤锌矿结构多晶薄膜.随着膜厚的增加,GAZO 薄膜(002)衍射峰强度增强,晶粒尺寸变大,薄膜结晶质量提高.在可见光范围内薄膜的平均光学透过率大于88%,薄膜电阻率随膜厚的增加逐渐减小.膜厚为10层(250 nm)的GAZO 薄膜光电综合性能最佳,其平均光学透过率高达98.5%,电阻率为4.9×10-3 Ω·cm.
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