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针对基于实体模型生成的微电机系统(MEMS)器件工艺层模型难以完全保证可制造性的问题,结合标准的表面微加工工艺,从可释放性、上下可结合性和腐蚀可制造性等方面分析了产生可制造问题的原因,并给出了可制造性评价方法.基于可制造性评价结果,进一步提出了一种生成改进建议的方法.实例分析表明,所提出的工艺层模型可制造性评价方法提高了MEMS器件的可制造性评价质量与效率,并使得设计人员能够更早地发现与更改设计中存在的可制造性问题.