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介绍了基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术,给出了各种微流体混合器的结构、原理和特点,同时对微管道中流体混合的仿真、实验技术以及微管道中微量流体混合程度的评价方法等作了概述.
基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术
【摘 要】
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介绍了基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术,给出了各种微流体混合器的结构、原理和特点,同时对微管道中流体混合的仿真、实验技术以及微管道中微量流体混合程度的评价方法
【机 构】
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中国科技大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年5期
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