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光梯尺(光楔表)的正确使用
光梯尺(光楔表)的正确使用
来源 :网印工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:c948221078
【摘 要】
:
光梯尺最早由美国杜邦公司传入我国,始于20世纪70年代,当时是用干膜抗蚀剂经过曝光显影后作为图型抗蚀刻或抗电镀的掩膜,曝光测试工具随杜邦生产的”瑞斯顿”光致抗蚀干膜进入我
【作 者】
:
李春甫
【出 处】
:
网印工业
【发表日期】
:
2007年6期
【关键词】
:
美国杜邦公司
干膜抗蚀剂
光致抗蚀剂
光楔
测试工具
辅助工具
抗电镀
曝光
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光梯尺最早由美国杜邦公司传入我国,始于20世纪70年代,当时是用干膜抗蚀剂经过曝光显影后作为图型抗蚀刻或抗电镀的掩膜,曝光测试工具随杜邦生产的”瑞斯顿”光致抗蚀干膜进入我国市场,17级的光梯尺则是专门为杜邦“瑞斯顿”光致抗蚀剂干膜而设计的曝光辅助工具。
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