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为实现电孤离子镀TiSiN薄膜成分可控，通过改变靶的相对电流在304不锈钢表面沉积TiSiN薄膜，采用厚度仪、能谱仪、扫描电镜、X射线衍射仪及摩擦试验研究了其形貌、结构及摩擦性能。结果表明：TiSiN薄膜中Si以非晶态Si3N。形式存在，抑制了面心立方结构的TiN晶粒生长，形成纳米晶TiN／非晶Si3N4（nc-TiN／α-Si3N4）纳米复合结构；与TiN薄膜相比，TiSiN薄膜具有更平整的表面，Si含量为4．08％（原子分数）时薄膜表面最光滑平整；TiN薄膜的硬度为2312HK左右，掺杂Si元素后，由