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随着光电器件的广泛应用,微机械光开关成为核心光交换器件的主流.在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题.本文介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件.与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景.
一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现
【摘 要】
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随着光电器件的广泛应用,微机械光开关成为核心光交换器件的主流.在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题.本文介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院微电子学专业
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年11期
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