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概括了传统精密工作平台的特征，综述了当今世界采用直线超声电机驱动的精密定位平台的研究现状及主要产品，列举了一些典型例子，并总结了采用直线超声电机驱动的精密定位平台的特点。
直线超声电动机在精密工作台中的应用
【摘 要】
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概括了传统精密工作平台的特征，综述了当今世界采用直线超声电机驱动的精密定位平台的研究现状及主要产品，列举了一些典型例子，并总结了采用直线超声电机驱动的精密定位平台的特
【机 构】
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空军第一航空学院
【出 处】
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微电机
【发表日期】
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2008年10期
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