【摘 要】
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在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪发挥着非常重要的作用。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属加工业的发展需求,现有激光系统的某些性能已无
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在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪发挥着非常重要的作用。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属加工业的发展需求,现有激光系统的某些性能已无法满足一些客户的要求。在第十届中国国际机床展览会上,畅销全球多年的ML10Gold激光干涉仪的制造商——
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