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建立了计算机自动控制测量400 nm～2 000 nm椭偏光谱仪系统.经过实验检验了系统的重复性及准确度,证明系统可用于高精度薄膜厚度的检测.
400nm—2000nm椭偏光谱仪的研究
【摘 要】
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建立了计算机自动控制测量400 nm～2 000 nm椭偏光谱仪系统.经过实验检验了系统的重复性及准确度,证明系统可用于高精度薄膜厚度的检测.
【机 构】
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四川工业学院电子信息与电气工程系
【出 处】
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四川工业学院学报
【发表日期】
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2002年4期
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