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用浸渍法将P25粉末涂敷于溶胶-凝胶法制备的TiO2预制膜上，进行一系列的热处理，制备TiO2薄膜样品。用X射线衍射法对样品进行晶体结构分析，发现用这种方法可以得到具有一定取向的TiO2薄膜。其结晶程度和取向度与浸渍时间和热处理时间相关，在漫渍时间为10h、热处理温度为500℃时，得到沿（101）面方向取向生长的TiO2薄膜。