针对光学薄膜制备过程中的表面品质缺陷,给出一种基于机器视觉的多通道同步自动在线检测方案。瑕疵检测精度、薄膜幅宽决定系统须采用多相机同步采样,为此提出一种C/S系统架构处理和管理各通道数据,并采用高性能FPGA设计了多通道同步控制卡。在实验基础上分析了薄膜瑕疵成像特点,提出一种基于误差修正理论的快速瑕疵检测算法,即:无瑕疵的背景图像认为只存在呈正态分布的随机误差,瑕疵看作粗大误差,从而将瑕疵检测问题转化成粗大误差的判别问题。通过连续多次采样求平均的方法得到标准背景图像,算出每个像素坐标位置的标准差σ,然后对每幅待检图像应用3-σ准则进行瑕疵判别,可直接得到二值化的瑕疵分离结果。实验结果表明,该算法具有简单、快速、准确的优点,解决了普通差影算法阈值确定困难的问题。