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本发明提供一种反应堆部件的表面处理方法，用于有效地去除被认为是在低应力条件下产生应力腐蚀裂纹(SCC)的原因的表面层，即缺铬层和加工硬化层。本发明的反应堆部件的表面处理方法，在对上述反应堆部件进行弯曲加工(步骤1)之后进行热处理(步骤2)，由于该弯曲加工而形成加工硬化层，同时由于在该热处理中附着的氧化膜而形成缺铬层，为了从上述反应堆部件上去除上述加工硬化层和上述缺铬层，使用酸洗、研磨、电解研磨、放电加工、表面切削、表面脱氧·软化、湿喷丸和激光加工中的任意一种方法(步骤3)。