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对扩散硅全桥为计的设计、工艺进行了全面的分析和介绍，提出了一套适合批量生产的工艺技术。在研制中对工艺中的关键技术进行了特殊的处理。
扩散硅全桥应变计的研制
【摘 要】
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对扩散硅全桥为计的设计、工艺进行了全面的分析和介绍，提出了一套适合批量生产的工艺技术。在研制中对工艺中的关键技术进行了特殊的处理。
【机 构】
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黑龙江省电子技术研究所,东北轻合金有限责任公司
【出 处】
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黑龙江电子技术
【发表日期】
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1999年2期
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