【摘 要】
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Li-doped Zn O thin films had been grown by radio frequency magnetron sputtering and then annealed under various annealing temperatures. The characteristics of Z
【机 构】
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Department of Materials Science and Engineering, Liaoning University of Technology,Department of Che
【出 处】
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Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science
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Li-doped Zn O thin films had been grown by radio frequency magnetron sputtering and then annealed under various annealing temperatures. The characteristics of Zn O films were examined by XRD, FESEM, Hall measurement and optical transmission spectra. Results showed that p type conduction was observed in Lidoped Zn O films annealed at 500-600 ℃ and the p type Zn O films possessed a good crystalline with c-axis orientation, dense surface, and average transmission of about 85% in visible spectral region.
The results of the Zn O thin films had been grown by radio frequency magnetron sputtering and then annealed under various annealing temperatures. The characteristics of Zn O films were examined by XRD, FESEM, Hall measurement and optical transmission spectra. observed in Lidoped Zn O films annealed at 500-600 ° C and the p type Zn O films possessed a good crystalline with c-axis orientation, dense surfaces, and average transmissions of about 85% in visible spectral regions.
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