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钢表面化学气相沉积碳化硅及其高温腐蚀行为
钢表面化学气相沉积碳化硅及其高温腐蚀行为
来源 :长春工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:maldininikanjun
【摘 要】
:
研究了耐热钢表面化学气相沉积碳化硅的工艺,比较了耐热钢、碳化钛膜和碳化钛/碳化硅双层膜在O2+Br2+Ar气氛中的高温腐蚀行为,通过热力学分析,解释了腐蚀动力学现象,证明了在
【作 者】
:
王兴华
郭成言
【机 构】
:
吉林省质量技术监督局装备中心,长春工业大学材料工程学院
【出 处】
:
长春工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
碳化硅膜
化学气相沉积
高温腐蚀
氧-溴-氩气氛
SiC films
CVD
high temperature corrosion
O2-Br2-Ar a
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研究了耐热钢表面化学气相沉积碳化硅的工艺,比较了耐热钢、碳化钛膜和碳化钛/碳化硅双层膜在O2+Br2+Ar气氛中的高温腐蚀行为,通过热力学分析,解释了腐蚀动力学现象,证明了在耐热钢表面被覆碳化钛/碳化硅双层膜可以大幅度提高其抗高温腐蚀能力.
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