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氧-溴-氩气氛相关论文

钢表面化学气相沉积碳化硅及其高温腐蚀行为

研究了耐热钢表面化学气相沉积碳化硅的工艺,比较了耐热钢、碳化钛膜和碳化钛/碳化硅双层膜在O2+Br2+Ar气氛中的高温腐蚀行为,通过......

期刊

碳化硅膜化学气相沉积高温腐蚀氧-溴-氩气氛 SiC films CVD high temperature corrosion O2-Br2-Ar a

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