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利用国产MBE设备,我们研制了多种多用途的GaAs/AlGaAs器件结构材料,并制作出GaAs/AlGaAs量子阱激光器、GaAs/GaAlAs自电光效应器件(SEED)、GaAs/AlGaAs HEMT等多种器件。
分子束外延GaAs／AlGaAs材料及应用
【摘 要】
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利用国产MBE设备,我们研制了多种多用途的GaAs/AlGaAs器件结构材料,并制作出GaAs/AlGaAs量子阱激光器、GaAs/GaAlAs自电光效应器件(SEED)、GaAs/AlGaAs HEMT等多种器件。
【机 构】
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中国科学院半导体所北京100083
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1991年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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