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聚合物材料在真空紫外环境下出气选出可造成分子污染。对聚酰亚胺薄膜进行真空紫外辐照试验，利用污染凝结效应试验设备测试辐照前后薄膜的质量损失，并通过SEM及XPS观察分析辐照前后薄膜的表面形貌、表面化学结构与成分变化。结果表明：真空紫外辐照可引起聚酰亚胺质量损失增加，且随辐照时间增加，质量损失逐渐趋于饱和；辐照后，样品表面形貌未发生明显变化；材料表面的C-O含量增加，且随辐照时间增加继续略微增长；C=O含量降低，且随辐照时间增加而继续降低。