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微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,其特征尺寸极小,学科交叉广泛;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面;在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.本文主要就MEMS技术的特点、研究内容、技术类别、研究领域、用途以及今后的发展趋势等问题进行简要的讨论和分析.