ITO薄膜的制备方法与应用

来源 :桂林电子工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lxl

【摘要】

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ITO薄膜具有优越的光电性能,在高科技领域中有着重要的用途,如液晶显示、太阳能电池等.磁控溅射法、化学气相沉积(CVD)法、喷雾热分解法、溶胶-凝胶法是目前制备ITO薄膜常用

【作者】

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职利周怀营

【机构】

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桂林电子工业学院信息材料科学与工程系

【出处】

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桂林电子工业学院学报

【发表日期】

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2004年6期

【关键词】

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ITO薄膜制备方法应用 ITO films fabrication method application

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ITO薄膜具有优越的光电性能,在高科技领域中有着重要的用途,如液晶显示、太阳能电池等.磁控溅射法、化学气相沉积(CVD)法、喷雾热分解法、溶胶-凝胶法是目前制备ITO薄膜常用的方法.水热法制备薄膜是近年来发展起来的一种很有潜力的液相制膜技术,具有成膜大面积化、成本低且易于产业化等优点,该法的应用将极大地推动国内制膜技术的发展.

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