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首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型化成为可能。重点论述一个MEMS激光雷达设计实例,比较其与FLASH激光雷达工作原理的异同,列举了其潜在性能指标。
光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用
【摘 要】
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首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型化成为可能。重点论述一个MEMS激光雷达设计实例,比较其与FLA
【机 构】
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中国电子科技集团公司第27研究所
【出 处】
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中国电子科学研究院学报
【发表日期】
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2011年01期
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