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介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺，并分析了薄膜的相关参数，测试了镀膜管道的真空性能。结果表明，该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜，且镀膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢材料的放气率。
不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其真空性能的研究
【摘 要】
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介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺，并分析了薄膜的相关参数，测试了镀膜管道的真空性能。结果表明，该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金（10245002）资助项目
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