电感测微仪测量不确定度评定

来源 :中国计量 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xionglongyan0817
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一、测量原理rn电感测微仪由主机台、高精度位移传感系统、机械运动系统、工件装夹系统、控制及数据处理系统、工业人机界面及应用软件等组成,结构如图1所示.本文选用3等量块,利用相对法对电感测微仪的测量误差进行校准.
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