【摘 要】
：
针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题,提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理,然后对悬臂梁结构进行了
【机 构】
：
中北大学,中北大学,中北大学机电工程学院
论文部分内容阅读
针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题,提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理,然后对悬臂梁结构进行了建模仿真,同时也确定了悬臂梁和环形谐振腔的最佳结构参数,最后利用MEMS工艺在SOI材料上制备了该新型传感器。利用光学耦合测试平台,对所加工的环形谐振腔进行性能测试,实验测得环形谐振腔的Q值为7.75×10^4,传感器的灵敏度为31 pm/k Pa,可以满足微压传感器高灵敏度的要求。
其他文献
如何加强房地产企业的人力资源科学管理,完善员工激励制度,激发员工积极、热情的工作状态,保障企业的高效率运作,构建高素质的核心专业高端人才团队是房产企业当下必须重视和需要努力的方面。但是目前国内很多房产企业还没有建立起完善成熟的员工激励体系,进而导致员工工作积极性不高,岗位流动性多,人才流失问题严重且普遍,这在一定程度上阻碍了企业的稳定运行及可持续发展,甚至威胁到企业的生存。为了有效地改善我国房地产
近年来，湘潭县教育系统以党的十九大精神为指引在党建工作上积极探索，结合实际，摸索出教育党建工作新路子，不忘初心谋发展，党建领航兴教育，“六个结合”彰显出巨大发展动能。$$一、
微波由于其特殊的能量传递和转换方式，作为一种绿色的加热方式已经被广泛应用于工业生产。概述了微波加热原理和作用参数，从研究手段、处理过程和应用成果等方面评述了近几年来
[目的]前期研究表明,血必净注射液可降低放射性肺炎相关炎性因子表达,保护内皮细胞并提高机体免疫力。目前临床应用血必净注射液可有效防治胸部放疗急性炎症反应。在证实血必
<正>食品安全直接决定了社会大众的身体健康,近年来频发的诸如地沟油、瘦肉精、工业明胶等食品安全问题受到了社会各界的广泛关注。即便针对频发的食品安全问题,我国政府颁布
提出了利用 Hamiltonian能量函数理论设计非线性鲁棒控制器的方法 ,设计了发电机汽门的非线性鲁棒控制器 ,并且给出了估计干扰抑制增益的一个充分条件 ,所得控制器结构简单 ,
随着现代计算机信息技术的发展,传感器得到了广泛的应用,新型传感器日新月异,对“传感器技术及其应用”这门课程的教学提出了新的挑战。那么如何使本门课程适应快速发展的要
<正> 高水平的师资队伍是一所大学成功与否的关键之一。美国哈佛大学前校长科南特曾说:“大学的荣誉不在于其校舍和人数,而在于它一代一代教师的质量。”(陶爱珠.世界一流大
<正>人情之利深夜,赵伟赶回家时已经累得成了一摊泥,连话都懒得多说一句,刚躺在床上就打起了呼噜。妻子本想数落赵伟一番,但想想他已经是快五十岁的人了,一天工作十几个小时,
目的:施万细胞脑源性神经生长因子(brain-derived neurotrophic factor,BDNF)分泌不足是糖尿病周围神经病的发病机制之一。哺乳动物雷帕霉素靶蛋白(mammalian target of rapamycin,mTOR)可调节多种细胞功能,例如:增殖、自噬、迁移和凋亡等。然而mTOR通路是否参与了糖尿病周围神经施万细胞BDNF表达减少尚未见相关报道。DNA甲基转移酶3a