【摘 要】
：
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国
论文部分内容阅读
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化。
其他文献
目的:观察灸法加耳穴贴压治疗青少年近视的疗效。方法:以艾条间隔灸配合耳穴贴压王不留行籽治疗青少年近视60例,120只眼,2周为1个疗程,经治疗3个疗程后统计结果。结果:治愈42
详细论述了中国联通江苏分公司是如何利用OLP及备用光缆路由、EDFA、DCM等技术手段,在保证通信畅通前提下,以较低成本实现长途传输网中继站搬迁的。
比较了目前国内关于降雨衰减的两种计算依据的主要区别;介绍了在Ku频段卫星通信地球站设计中所使用的降雨衰减的计算方法;给出了一些城市的降雨衰减数据。
分析马尾松正常材和贮存较久的腐材的化学成分、纤维形态,研究腐朽材对马尾松硫酸盐法制浆、H单段漂白特性以及未漂浆成纸性能的影响。研究结果表明:马尾松腐朽材的制浆造纸
真武汤出自《伤寒杂病论》，由茯苓、白芍药、白术、附子、生姜5味药物组成，具有温阳利水的作用，用于治疗脾肾阳虚而致水饮内停、小便不利、遍身水肿、四肢沉重、腹痛、自下利等
目的：通过观察针灸疗法对比口服消炎痛片治疗寒凝血瘀型原发性痛经的临床疗效,为治疗寒凝血瘀型原发性痛经提供有效的临床方法。方法：将60例符合诊断标准的受试者按随机数字表
甲衣即铠甲和衣服服饰，是古时候用于战场起到防护作用的特殊服饰种类，铠甲拥有着数千年的历史。《释名·释兵》中解释道：“铠，犹铠也。坚重之言也，或渭之甲。”随着社会的变化、战
介绍了"无线城市"概念,讨论了"无线城市"技术选择和运营模式,给出了"无线城市"发展策略建议。
针对目前存在的实际站址与规划站址相差较大的问题,给出了一些建议。首先要建立多方负责的管理制度,避免由于工程建设周期压力而忽视网络规划成果;其次要采用多种手段方式,从
随着搜索引擎技术的发展,人们对搜索引擎安全性技术要求会越来越高。因此,在短期内仅靠技术条件难以从根本上解决这一难题,需要我们从长远的角度进行考虑,要求运营商不能过于