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介绍了直梁光栅光调制器的结构和原理，建立了器件的机电模型．利用能量法和卡式第二定理分析并得到器件的弹性系数；通过静电力与机械回复力的平衡，得到器件的驱动电压．结合器件的实际参数值，计算得到器件的工作电压为10．71V，吸合电压为11．46V．实验测得器件的实际工作电压为10．5V，吸合电压为12．2V，实验结果与理论分析基本一致．在1kHz脉冲电压的驱动下，器件响应的上升时间和下降时间分别为46．59μs和44．77μs；器件的响应频率约为5kHz．结果表明，加工的直梁光栅光调制器具有较低的驱动电压和较高