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针对传统调频连续波激光干涉位移传感器存在谐波串扰和动态测量范围较小的问题,研制一种具有三个独立法布里-珀罗干涉仪探测光路的三通道位移测量系统,该系统包含三个芯片,使用多芯片处理可以提高运算速度。通过信号线等长和软件来控制各芯片的同步测量,可以解决各独立通道测量不同步的问题。实验结果表明,各通道对速度为1 mm/s的运动目标的同步性测量误差仅为0.46 nm,600 mm行程的位移测量误差的标准差小于3 nm,线性拟合系数在0.99997以上,说明该系统可以实现三维运动目标的位移测量。