Growth of GaN/AlxGa1-xN (x=0.65) Superlattices on Si(111) Substrates Using RF-MBE

来源 :中国稀土学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wwwww1980wwwww

【摘要】

：

Superlattices with varying GaN well widths (2, 3, 6, 9 nm) and fixed AlGaN barrier (8 nm) with high Al-content (x=0.65) were grown. Streaky RHEED patterns indic

【作者】

：

Armando S Somintac Tomo Kikuch

【机构】

：

DepartmentofElectricEngineering

【出处】

：

中国稀土学报：英文版

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

molecular beam EPITAXY SUPERLATTICES GaN AlGaN BUILT-IN electric field STARK eff

【基金项目】

：

Project supported by the project, Hybrid Nanostructured Materials and their Applications at the Research Centre for Advanced Science and Technology (RCAST) of Doshisha University through the 'High

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Superlattices with varying GaN well widths (2, 3, 6, 9 nm) and fixed AlGaN barrier (8 nm) with high Al-content (x=0.65) were grown. Streaky RHEED patterns indicated 2D growth mode for the superlattices. XRD measurements showed multiple satellite peaks cor

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