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前文[1]指出,硅中的氮氧复合物实质上是氮对-硅-氧复合体.本文运用这一结构模型预测了新的实验事实,并用实验进行了验证,同时分析了硅中的碳氧复合物,提出了硅中碳与氧,氮与氧相互作用的新见解.
硅中的氮氧复合物和碳氧复合物
【摘 要】
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前文[1]指出,硅中的氮氧复合物实质上是氮对-硅-氧复合体.本文运用这一结构模型预测了新的实验事实,并用实验进行了验证,同时分析了硅中的碳氧复合物,提出了硅中碳与氧,氮与
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1992年11期
【基金项目】
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浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室资助
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