【摘 要】
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简述了数字微镜装置的微机械工作原理和数字光信号处理技术 ,建立了基于微米技术制作的数字微镜的机电动力学模型 ,并给出了微机械碰撞中考虑纳米尺寸效应的实用建模方法 .数
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院,西安电子科技大学电子工程学院
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简述了数字微镜装置的微机械工作原理和数字光信号处理技术 ,建立了基于微米技术制作的数字微镜的机电动力学模型 ,并给出了微机械碰撞中考虑纳米尺寸效应的实用建模方法 .数值仿真分析了某微反射镜单元的运动状态和过程 ,分析结果与该微镜实测结果吻合较好 .此外 ,还设计了一种新型微镜阵列 ,提出了相应的分析设计方法
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