【摘 要】
：
技术应用虽然已经开始,但哪一种技术路径最好、谁家的最好仍不得而知。经过多年研发,几家晶圆厂设备供应商终于在2016年推出了基于原子层刻蚀(ALE)的下一代蚀刻系统。ALE虽指
【机 构】
：
中国台湾电子工程专辑EETimes
论文部分内容阅读
技术应用虽然已经开始,但哪一种技术路径最好、谁家的最好仍不得而知。经过多年研发,几家晶圆厂设备供应商终于在2016年推出了基于原子层刻蚀(ALE)的下一代蚀刻系统。ALE虽指向16/14 nm的技术方向,但其必将在10/7 nm甚至更远的技术领域内发挥重要作用。业界也正致力于开发应用于先进逻辑处理器和存储器生产制造的新一代ALE技术。
其他文献
自然灾害、外力破坏事件频发,严重威胁电网的安全稳定运行。如何应对突发事件,成为供电企业面临的难题。采用有线网络与无线3G相结合的通信方式,昆明供电局构建了安全监控及
在对西方后现代主义文学的模仿、借鉴及由其启发而逐渐自主创新的过程中,新时期具有后现代主义特征的小说对传统叙事法方法论的突破和延展是较为广泛的,如在文本的去主体化、
<正>2014年5月20日,飞思卡尔宣布与东软、Green Hills Softwa re携手合作,共同推出面向ADAS视觉应用的开发生态系统。该系统的推出,将简化并加快新一代汽车视觉应用的开发。
过去随机环境下多产品订货往往以期望值作为唯一决策准则，没有将风险控制纳入决策范畴，与实际决策过程不相符合。为给具有不同风险偏好的决策者提供合适的决策分析工具，文章在分
为了探讨风险态度、现实约束对决策行为的影响,建立了具有预算约束、损失约束、需求依赖于价格、基于条件风险价值(CVaR)准则的价格-订单量决策模型,并给出了模型最优解与约
南朝梁释宝唱撰写的《比丘尼传》是一部重要的佛教典籍,保存了极其丰富的佛教史料。中华书局2006年出版了王孺童先生整理的《比丘尼传校注》,校注详细精审,然而还有若干处异
选用经人工繁殖刚开口摄食的乌苏里拟水花,在池塘和水族箱内同时进行培育。池塘每667m2投放水花3万尾,水族箱内投放水花400尾。3个月培育结果表明,池塘养殖的乌苏里拟体长由1
<正>分数趋中率高,是高考作文中的痼疾,广受人们诟病。浙江省嵊州市马寅初中学教师张秋达对高考作文的批阅提出了自己的见解。首先要淡化作文的基准分。为了减少无效卷,阅卷
文化是人的存在方式。人的文化存在具有实践性、主体性和生成性等特征。精神家园具有导向性与归属性、凝聚性与超越性、传承性与开放性等特性。精神家园对个体、民族与人类发
企业会计盈余信息是外部投资者了解企业的主要渠道,因此盈余信息质量一直是学术界和实务界关注的重要话题。盈余信息质量的影响因素有哪些,管理能力是否影响盈余信息质量已成