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论述了金属氧化物SnO2的气敏机理,并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备SnO2薄膜气敏传感器的最新研究成果进行了简要介绍.
半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用
【摘 要】
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论述了金属氧化物SnO2的气敏机理,并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备SnO2薄膜气敏传感器的最新研究成果进行了简要介绍.
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2002年z1期
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