反应等离子喷涂结晶规律的研究

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采用反应等离子喷涂制备TiN涂层,利用扫描电子显微镜、X-射线衍射等方法对涂层进行表征.分析不同喷涂功率所得涂层的微观形貌、组织、相等,进一步对涂层的晶粒尺寸及结晶规律进行研究,以此来优化喷涂工艺参数以期得到满意的喷涂效果.结果表明,TiN涂层中除了TiN相外,还含有少量的TiO0.325、Ti3O以及Ti2O3相;涂层的微观结构是由大量细小的柱状晶、等轴晶及部分树枝晶所组成;与基体材料越接近的涂层在结晶时过冷度越大,晶粒尺寸越小.
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