【摘 要】
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工业生产中普遍采用液态三氯氧磷(POCl3)作为多晶硅太阳电池的扩散磷源。研究了各种工艺参数对扩散方块电阻的大小及均匀性的影响。结果表明:提高扩散温度、增加主扩散时间、
【机 构】
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新余学院,江西省高等学校硅材料重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51164033);国家自然科学基金资助项目(51162025);江西省自然科学基金资助项目(2010GQC0178);江西省教育厅科技项目(GJJ12653);新余学院校级招标项目(xj0901)
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工业生产中普遍采用液态三氯氧磷(POCl3)作为多晶硅太阳电池的扩散磷源。研究了各种工艺参数对扩散方块电阻的大小及均匀性的影响。结果表明:提高扩散温度、增加主扩散时间、减小再分布时间、增加小氮流量、减小大氮流量,可以减小方块电阻;合理设置炉管内的温度分布、适当增加大氮流量,可以改善方块电阻的均匀性;氧气流量对方块电阻影响不大。得到了一组优化的扩散工艺参数,测得方块电阻为55.1Ω/□,片内极差为5.6%,片间极差为3.1%。
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