【摘 要】
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长度线纹尺的干涉比较仪主要由线纹尺定位用的显微镜、移动线纹尺或显微镜用的滑座和在线纹连续定位时测量位移用的干涉仪构成。一般比较仪都装有带可动角隅反射镜的干涉仪,
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长度线纹尺的干涉比较仪主要由线纹尺定位用的显微镜、移动线纹尺或显微镜用的滑座和在线纹连续定位时测量位移用的干涉仪构成。一般比较仪都装有带可动角隅反射镜的干涉仪,在这种情况下干涉仪的测量轴平行于测
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In order to overcome