【摘 要】
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综述了从1980--2012年间测定高纯硅中痕量元素分析方法的研究进展。高纯硅中痕量元素的主要分析方法包括红外光谱法、原子发射光谱法、原子吸收光谱法、X射线荧光光谱法、极
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所上海质谱中心,华东师范大学化学系
【基金项目】
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国家自然科学基金(211102157);中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(Y27YQ1110G);中国科学院上海硅酸盐研究所创新项目(O97ZC1110G)
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综述了从1980--2012年间测定高纯硅中痕量元素分析方法的研究进展。高纯硅中痕量元素的主要分析方法包括红外光谱法、原子发射光谱法、原子吸收光谱法、X射线荧光光谱法、极谱法、离子探针与离子色谱法、二次离子质谱法、辉光放电质谱法、电感耦合等离子体质谱法等；并对高纯硅中痕量元素的分析方法进行了展望（引用文献59篇）。
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