【摘 要】
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重点采用Matlab软件进行氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)材料仿真,在仿真的基础上,制备Si3N4、TiO2薄膜,并与仿真结果对比研究,发现红外吸收实测结果与仿真结果基本一致,从而一
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重点采用Matlab软件进行氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)材料仿真,在仿真的基础上,制备Si3N4、TiO2薄膜,并与仿真结果对比研究,发现红外吸收实测结果与仿真结果基本一致,从而一定程度上验证仿真结果的正确。
The Si3N4 and TiO2 thin films were prepared on the basis of simulation, and compared with the simulation results. The experimental results of infrared absorption were basically the same as the simulation results, To a certain extent, verify the correctness of the simulation results.
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