【摘 要】
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<正> 一、绪言近年来,包括电子计算机的电子仪器行业的发展引人注目。该行业的发展,与所使用的部件(半导体元件)制造技术的发展是分不开的,即与半导体元件的制造有关的技术开
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<正> 一、绪言近年来,包括电子计算机的电子仪器行业的发展引人注目。该行业的发展,与所使用的部件(半导体元件)制造技术的发展是分不开的,即与半导体元件的制造有关的技术开发,以适用于电子仪器的高性能化的元件的高性能化、高密度化为目标。这些技术的开发,不仅研究新理论和具体实施这些新理论的制造装置很重要,而且,作为材料气和制造过程的保护气的各种工业气体也起到了重要作用。在这种情况下,气体厂要按照
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