【摘 要】
：
等离子体源离子注入与沉积技术作为一种可生产高结合力、高致密度涂层的真空镀膜技术,具有广阔的应用前景,尤其适用于高载荷工况下服役的功能涂层制备.该技术中金属等离子体
【机 构】
：
北京大学深圳研究生院新材料学院; 哈尔滨工业大学,先进焊接与连接国家重点实验室; 香港城市大学物理与材料科学系;
【基金项目】
：
国家自然科学基金(批准号:51301004,U1330110);深圳市科技计划(批准号:SGLH20120928095706623,JCYJ20120614150338154,CXZZ20120829172325895)资助的课题~~
论文部分内容阅读
等离子体源离子注入与沉积技术作为一种可生产高结合力、高致密度涂层的真空镀膜技术,具有广阔的应用前景,尤其适用于高载荷工况下服役的功能涂层制备.该技术中金属等离子体源是关键,而现有的脉冲阴极弧源结构复杂,且由于伴随"金属液滴"而需要增加过滤装置.本文研究了另一种简单结构的金属等离子体源备选一高功率脉冲磁控溅射源(HPPMS)的放电特性,采用等离子体发射光谱仪探索了不同的耦合高压对HPPMS放电靶电流特性和等离子体特性的作用.发现耦合高压对HPPMS放电有明显的促进作用,相同靶电压下的放电强度大幅增加,相对于金属放电,耦合高压对气体放电的促进作用更加明显,但在自溅射为主的高压放电阶段对金属放电的促进作用明显增强.讨论了耦合高压对HPPMS放电的增强机制,发现耦合高压自辉光放电、耦合高压和HPPMS电压构成双向负压形成的空心阴极效应,以及耦合高压鞘层改善的双极扩散效应都对HPPMS放电的增强有明显作用.
其他文献
目的观察不同温度艾灸热刺激对高脂血症大鼠血脂及背根神经节瞬时感受器电位香草酸受体1（TRPV1）m RNA表达的影响,验证艾灸调脂疗效与激活TRPV1相关。方法采用高脂饲料喂养制作
基于江苏省和上海市两地地方性法规规章的翻译实践,回顾了地方性法规规章翻译中译名统一化和规范化所取得的成绩,指出了当前统一化和规范化中面临的问题,并分析其产生的原因,
通过对我国城镇化发展现状进行分析，指出现今国家重视发展城镇化的必要性与存在的问题，着重探讨了农村地区的城镇化发展问题，并从宏观与微观两个层面提出了相应的改善对策和建议
介绍了大胜关长江大跨越二期工程导地线的换线施工方法,即采用旧地线"一牵一"张力牵引光缆过江,采用旧导线"一牵一"张力牵引D26牵引绳过江、D26牵引绳"一牵二"张力牵引新导线
机器人辅助的结肠手术在国际上已经广为开展，和传统腹腔镜手术相比，其安全性、先进性已经得到证实，但由于床旁机械臂和患者连接（docking）后再调整位置较为费时等原因，国内外鲜有将
肺癌发生于支气管粘膜上皮亦称支气管肺癌,肺癌一般指的是肺实质部的癌症.来自于支气管（bronchial）或细支气管（bronchiolar）表皮细胞（epithelial cell）的恶性肿瘤,占了肺实质恶性肿