【摘 要】
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公司现有功率VDMOS产品的阈值电压主要分布在2~4V,现在需要开发低阈值工艺平台的产品,本文主要涉及公司内部1.5V低阈值产品的开发。通过调整Pbody注入剂量和栅氧厚度,经过实
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公司现有功率VDMOS产品的阈值电压主要分布在2~4V,现在需要开发低阈值工艺平台的产品,本文主要涉及公司内部1.5V低阈值产品的开发。通过调整Pbody注入剂量和栅氧厚度,经过实验流片及数据分析,成功做出了1.5V低阈值的产品,并保证了产品良率。另外经实际产品数据 分析发现两个规律,为后续产品调整阈值提供了快速有效的方法。
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