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介绍了基于光散射原理的激光测量装置非接触在线检测表面粗糙度的测量原理及测量头设计方案，调制光源、双光束１、与测量光路同轴的高压喷气流、窄带滤波电路等设计可提高信噪比，增强抗干扰能力，可实现Ｒａ２￣１００ｎｍ的表面粗糙度在线检测。
用激光散射法非接触在线检测表面粗糙度
【摘 要】
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介绍了基于光散射原理的激光测量装置非接触在线检测表面粗糙度的测量原理及测量头设计方案，调制光源、双光束１、与测量光路同轴的高压喷气流、窄带滤波电路等设计可提高信噪比
【机 构】
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四川大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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四川大学青年科学基金
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