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基于激光干涉光刻的基本原理,设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统,并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的CMOS实时检测及实现大面积光刻的方法。实验结果表明,使用激光干涉光刻技术可以产生大面积的亚微米级周期性图案。该方法提供了得到高分辨、无限焦深、大面积光刻的可能性。
应用于大面积光刻的激光图案检测系统
【摘 要】
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基于激光干涉光刻的基本原理,设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统,并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的CMOS实时检测及实现大面积光刻的方法。实验结果表明
【机 构】
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长春理工大学电子信息工程学院,长春理工大学国家纳米操纵与制造国际联合研究中心
【出 处】
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中国科技论文
【发表日期】
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2015年08期
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