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介绍激光跟踪仪精度校验方法.用激光跟踪仪与高精密立式加工中心比对来测量激光跟踪仪在IFM(干涉测量模式)模式下精度,为激光跟踪系统的验收提供依据,同时为激光跟踪仪误差补偿提供数据支持.
激光跟踪测量系统比对校验
【摘 要】
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介绍激光跟踪仪精度校验方法.用激光跟踪仪与高精密立式加工中心比对来测量激光跟踪仪在IFM(干涉测量模式)模式下精度,为激光跟踪系统的验收提供依据,同时为激光跟踪仪误差补
【机 构】
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河南理工大学
【出 处】
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仪器仪表用户
【发表日期】
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2005年2期
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