【摘 要】
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主研人员：李言荣 陶伯万 刘兴钊 姜 斌 罗 安 徐 进 何世明 双向YBCO高温超导薄膜的两面同时溅射沉积技术通过基片绕夹具转轴旋转，实现了采用单靶倒筒式直流溅射在基
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主研人员：李言荣 陶伯万 刘兴钊 姜 斌 罗 安 徐 进 何世明 双向YBCO高温超导薄膜的两面同时溅射沉积技术通过基片绕夹具转轴旋转，实现了采用单靶倒筒式直流溅射在基片两面同时原位沉积YBCO薄膜，保证了YBCO双面薄膜的两面一致性。同时，在YBCO双面同时溅射中引入了
Researcher: Li Yanrong Tao Bowan Liu Xingzhao Jiang Bin Luo An Xu Jin He Shiming Two-sided Simultaneous Sputtering Deposition of High-temperature Superconducting Thin Films by a Bi-directional YBCO Film By rotating a substrate around a rotating shaft of a fixture, a direct- YBCO film deposited in situ at the same time, to ensure the double-sided YBCO film consistency. At the same time, YBCO double-sided simultaneous sputtering was introduced
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