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p型Al/6H-SiC肖特基二极管特性的研究
p型Al/6H-SiC肖特基二极管特性的研究
来源 :四川大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:rurucaihongru
【摘 要】
:
作者研究了p型Al/6H -SiC肖特基二极管的基本制作工艺及其电学参数 .采用电流 -电压法 (I~V) ,测试了肖特基二极管的理想因子n和肖特基势垒高度b.对其基本电学参数n和b 的
【作 者】
:
罗小蓉
廖伟
廖勇明
洪根深
龚敏
【机 构】
:
四川大学物理学系
【出 处】
:
四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2001年S1期
【关键词】
:
6H碳化硅
肖特基二极管
宽禁带半导体
H-SiC
Schottky diode
wide band semiconductor
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作者研究了p型Al/6H -SiC肖特基二极管的基本制作工艺及其电学参数 .采用电流 -电压法 (I~V) ,测试了肖特基二极管的理想因子n和肖特基势垒高度b.对其基本电学参数n和b 的温度特性进行了研究 .分析了串联电阻对I~V特性的影响 .
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