【摘 要】
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提出了一种用于针尖扫描原子力显微镜(AFM)的光点跟踪设计方案,结构简单,容易实现。设计方案对扫描器的负载能力要求不高,而且能使原子力显微镜实现较大范围的针尖扫描。实验
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所先进激光技术与应用系统实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所先进激光技术与应用系统实验室 上海201800,上海201800
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提出了一种用于针尖扫描原子力显微镜(AFM)的光点跟踪设计方案,结构简单,容易实现。设计方案对扫描器的负载能力要求不高,而且能使原子力显微镜实现较大范围的针尖扫描。实验结果表明,采用此光点跟踪设计方案的针尖扫描原子力显微镜能实现最大100μm×100μm范围的扫描,z方向上的误差最大1 nm,能很好地满足大样品扫描的需要。
A spot tracking design scheme for needlepoint scanning atomic force microscope (AFM) is proposed, which has the advantages of simple structure and easy implementation. Design requirements of the scanner’s load capacity is not high, but also to achieve a larger AFM AF scanning. Experimental results show that the tip scanning AFM with this spot tracking scheme can achieve a maximum scan of 100μm × 100μm, and the error in the z direction is up to 1 nm, which can well meet the needs of large sample scanning.
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