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报导了用ＤＭＤ－４５０机镀制大口径（φ１２５ｍｍ）紫外（２４８ｎｍ）均匀高反膜及增透膜，工装简单实用，解决了大口径基片的放置，用可见光监控紫外涂镀及膜片均匀性三个问题，摸索了氧化铪膜料蒸发工艺。结果达到激光器要求。
大口径（φ125mm）紫外（248nm）介质膜镀制
【摘 要】
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报导了用ＤＭＤ－４５０机镀制大口径（φ１２５ｍｍ）紫外（２４８ｎｍ）均匀高反膜及增透膜，工装简单实用，解决了大口径基片的放置，用可见光监控紫外涂镀及膜片均匀性三个问题，摸索了氧化铪膜料蒸发工艺。结果达到激光器要
【机 构】
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哈尔滨工业大学光电子技术研究所,哈尔滨工业大学航天力学与工程系,哈尔滨工业大学航天力学与工程系副研究员
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
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1993年5期
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